胤旭機電 >> APTECH調壓閥AP1510S 2PW MV4 MV4 : APTECH調壓閥AP1510S 2PW MV4 MV4 SS 316L VAR二次熔化或超合金施工 清潔,組裝和包裝高純度半導體應用 表面光潔度15 Ra比較大/ 10 Ra平均(10、7和5 Ra max選項) 真空至3500 psig(241 bar)入口HR選項為4,500……
APTECH調壓閥AP1510S 2PW MV4 MV4
•SS 316L VAR二次熔化或超合金施工
•清潔,組裝和包裝高純度半導體應用
•表面光潔度15 Ra比較大/ 10 Ra平均(10、7和5 Ra max選項)
•真空至3500 psig(241 bar)入口HR選項為4,500 psig(310巴)
•流量-標準為30 slpm(1 scfm)HF選項為120 slpm(4 scfm)
•旋鈕LOTO(請參閱AP KL數據表)
入口/出口連接器1/4或3/8英寸端面密封或管焊接
閥蓋端口1/8英寸NPT
流量系數(Cv)0.09(可選0.15 HF)
內部容積0.51 in3(8.4 cm3)
工作溫度-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)*
舷內泄漏2 x 10-10 sccs
舷外泄漏2 x 10-9 sccs He
座椅4 x 10-8 sccs泄漏
安裝面或面板(可選)
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